獵戶座 3100S

AMC空氣分子污染物監測系統

一、AMC空氣分子污染物監測系統 3100S產品介紹：

1、實(shi)(shi)踐證明深紫(zi)外光刻工藝深受多(duo)種類微(wei)量污(wu)染(ran)物的(de)影響，對很多(duo)微(wei)量污(wu)染(ran)物極(ji)為敏感，比如(ru)氨(an)氣(qi)或者酸(suan)性氣(qi)體(ti)都會給(gei)半(ban)導體(ti)生產帶來(lai)較大的(de)危害，盡管隨著深紫(zi)外耐(nai)腐蝕材料(liao)技術(shu)的(de)發展，已經(jing)減少了(le)長時間持(chi)續實(shi)(shi)時監測，而實(shi)(shi)際上(shang)空氣(qi)分子污(wu)染(ran)（AMC）的(de)實(shi)(shi)時測量對產品(pin)質量的(de)好壞至關(guan)重(zhong)要。

2、獵戶座3100S系(xi)列空氣分子污染物監測系(xi)統(tong)基于(yu)CEAS（腔增(zeng)強吸收光譜）技(ji)術(shu)連續分析儀器，將(jiang)增(zeng)加半導(dao)體(ti)器件(jian)阻抗一致性、保證更長的(de)過濾器壽命、減(jian)少生產過程(cheng)的(de)停(ting)工時間(jian)。

3、ETG HMI（人機交互界面）軟件可以實時觀察、實時測量、實時操作對不同空間不同位置的NH₃、HCL、HF進行分(fen)析，軟(ruan)件專門針對(dui)半(ban)導體行業開發，對(dui)于深(shen)紫外光刻工藝過程中(zhong)監測與控制空氣分(fen)子污染（AMC）提供有(you)力的支持，軟(ruan)件集成了多點采樣（MS）控制功能，具有(you)實時顯示數據曲線(xian)、報(bao)警、存儲、趨勢(shi)、歷史曲線(xian)、分(fen)析等功能。

二、AMC在線監測 獵戶座 3100S 系統介紹：

1、實時監測空氣分子(zi)污(wu)染（AMC）對(dui)于半導(dao)體生產過程極為重要(yao)。

2、快速監測、報(bao)警、極低濃度測量、寬測量區域、多(duo)氣體的(de)高靈敏響應等(deng)是半導(dao)體工業(ye)要求之(zhi)一。

3、深(shen)紫外光刻工藝特(te)別關注氨、胺類、N-甲基(ji)吡咯烷酮NMP、酸類等濃度測量(liang)，當這些氣體與化學放大光刻膠反(fan)生反(fan)應時(shi)，將深(shen)深(shen)的影響半導(dao)體器(qi)件質量(liang)。

4、傳統古老的(de)方法多采用間(jian)接測量分(fen)析(xi)方法。包(bao)括撞擊濾塵器(qi)、離子色譜、化學熒光法，這些(xie)方法分(fen)析(xi)速度太慢，操作過(guo)程(cheng)太復雜，昂貴并且測量結果不準(zhun)確(que)。

5、ETG采用被證明的CEAS（腔增強吸收光譜）技術解決AMC（空氣分子污染物）監測難題，可快速測量痕量級NH₃、HCL、HF，采用脈沖熒光法測量SO₂，采用增強型GC-FID測(ce)量VOCs。

6、獵戶座 3100S系列空氣分子污染物監測系統測量痕量級NH₃、HCL、HF并集成了uVOC-CAM特性(xing)，是半導體行(xing)業潔(jie)凈室(shi)AMC（空氣分子污染）測(ce)量的有(you)力工具。

7、獵戶座 3100S也(ye)集(ji)成了多(duo)點監測(ce)系統，可依序將氣體抽送到分析(xi)(xi)儀或傳感器，并讀出測(ce)量結果(guo)。獵戶座 3100S內嵌(qian)的報(bao)(bao)警(jing)、報(bao)(bao)告、分析(xi)(xi)軟件是由多(duo)年半導體行業(ye)經驗的工程(cheng)師集(ji)體開發。

8、獵戶座 3100S使用Ethernet、RS485/RS232或(huo)(huo)4-20mA模擬模塊可以輸出來自4~6臺(tai)分析儀或(huo)(huo)傳感器的(de)數(shu)據。

9、每(mei)臺分析儀配有內置(zhi)計算機(ji)（Linux OS），可進(jin)行數(shu)據存儲和數(shu)據輸出，還支(zhi)持遠程網絡控制(zhi)，通過互聯網可以連接ETG公司(si)總部或(huo)者當地經銷商服務商，進(jin)行操作或(huo)者診斷。

10、使用(yong)者可(ke)以通過網絡瀏覽器比(bi)如IE、Chrome等世界任意可(ke)以聯網的地方進行操作，遠程操作可(ke)實現多(duo)級管理權限控制和操作。

獵戶座 3100S 系統配置圖如下

三、產品特點：

1、增強靈敏度

儀器基于CEAS（腔增強吸收光譜）技術，極簡使用、便捷操作，所有部件（包括內置真空泵、鍵盤、鼠標、顯示器等）幾分鐘內可開始記錄數據，其他大氣中的水汽、CO₂、O₂、甲烷等不會對HCL、HF、NH₃等測量構成交叉干擾。內置(zhi)計(ji)算機可(ke)(ke)以存(cun)儲大量數據(ju)到內置(zhi)硬盤上，可(ke)(ke)同過(guo)數字接(jie)口或者模擬接(jie)口傳輸數據(ju)，可(ke)(ke)通(tong)過(guo)互聯網遠(yuan)程存(cun)儲或記錄數據(ju)，高質量的(de)(de)數據(ju)庫(ku)，適合于苛刻(ke)的(de)(de)半導體痕量級氣體應用。

2、檢測限/精度 (1-σ)  :HCl 0.1 ppb ; HF 0.1 pp ; NH₃ < 0.1 ppb

快速響應時間

每個通道5秒

系統即插即用

系統可在潔凈間幾分(fen)鐘內簡單操(cao)作(zuo)完成

低成本，因CEAS（腔增強(qiang)吸收光譜）系(xi)統不需要(yao)特別的維護保(bao)養和(he)備(bei)品備(bei)件，所以很(hen)好的降(jiang)低了使(shi)用者成本。

四、CEAS（腔增強吸收光譜）---原理

基(ji)于CEAS（腔增強吸(xi)收(shou)光(guang)譜(pu)）技(ji)術的(de)(de)儀器原理圖，使用近紅外波(bo)段光(guang)進(jin)行高靈敏度吸(xi)收(shou)測(ce)量(liang)，測(ce)量(liang)腔室由一(yi)組(zu)高反射率多次反射鏡(jing)片(pian)組(zu)成(cheng)的(de)(de)柱狀體構成(cheng)，激光(guang)束經過固(gu)態(tai)校準器（FSR=2.00GHz）時會(hui)測(ce)量(liang)得到相對激光(guang)波(bo)長。為了(le)保(bao)證清(qing)晰度，忽略了(le)原本照射到左(zuo)側測(ce)量(liang)單元腔鏡(jing)外的(de)(de)光(guang)束。